Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии
Инженерно-технические науки Бакалавриат
Характеристики
2011 год • 110 страниц • 4 MB
Издательство Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Тип издания Учебно-методическое пособие
Гриф Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов ННГУ, обучающимся по направлениям 210600 – "Нанотехнология в электронике" 210100 – "Электроника и микроэлектроника"
Описание
Рассматриваются физические основы методов электронной ожеспектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа состава самоорганизованных кремний-германиевых систем и тонкопленочных структур разбавленных магнитных полупроводников. Для студентов старших курсов и магистратуры физического факультета, обучающихся по специальностям 210600 – "Нанотехнология в электронике" и 210100 – "Электроника и микроэлектроника", направление специализации — "Физика твердотельных наноструктур"
