Анализ твёрдотельных гетеронаносистем методом РФЭС
Химия Бакалавриат
Характеристики
2013 год • 50 страниц • 876.9 KB
Издательство Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Тип издания Учебно-методическое пособие
Гриф Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов ННГУ, обучающимся по направлениям 222900 – "Нанотехнологии и микросистемная техника", 210100 – "Электроника и наноэлектроника"
Описание
Рассматриваются физические основы метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Рассмотрены методы интерпретации фотоэлектронных спектров. Описана методика проведения количественного химического анализа методом РФЭС совместно с ионным профилированием структур с нанометровыми слоями. Приведены примеры анализа состава наноструктур на основе оксида кремния и спинтронных систем на основе арсенида галлия Для студентов бакалавриата и магистратуры, обучающихся по специальностям 222900 – "Нанотехнологии и микросистемная техника" и 210100 – "Электроника и наноэлектроника", направление специализации — "Физика твердотельных наноструктур"
