Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум

Описание

Лабораторный практикум содержит описания лабораторных работ: «Напыление тонких металлических пленок термическим способом в вакууме», «Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления», «Лазерная обработка материалов и изделий микро- и наноэлектроники», «Измерение оптических параметров кристаллов и тонких пленок методом лазерной эллипсометрии». Практикум разработан для курсов «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» (бакалавры), «Устройства микро- и наносистемной техники» (бакалавры), «Техника эксперимента» (магистры) и «Методы контроля материалов и устройств наноэлектроники и микросистемной техники» (магистры). Практикум предназначен для бакалавров и магистров Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА по направлениям подготовки 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» и 28.03.01, 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».