Шерстю Н. Э.

Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум

Мишина Е. Д., Шерстю Н. Э., Федулов Ф. А., Буряков А. М., Лаптева М. С., Фетисов Ю. К., Шаранов К. П., Шахурин Е. С.