Исследование рельефа поверхности полупроводниковой hemt-структуры методом атомно-силовой микроскопии
ФизикаБакалавриатСпециалитет
Характеристики
2014 год•17 страниц•766 KB
ИздательствоНациональный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Тип изданияПрактикум
ГрифРекомендовано методической комиссией радиофизического факультета для студентов ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки 011800 «Радиофизика и электроника» 010400 «Информационные технологии» 654700 «Информационная безопасность телекоммуникационных систем»
Описание
В пособии описаны физические принципы работы атомно-силового сканирующего зондового микроскопа. Изложена методика анализа топографии поверхности полупроводниковой структуры с использованием контактного способа измерений. Практикум предназначен для студентов дневного отделения магистратуры радиофизического факультета ННГУ в качестве пособия при подготовке и проведении лабораторных работ по специализированному курсу «Сканирующая зондовая микроскопия».
