Исследование рельефа поверхности полупроводниковой hemt-структуры методом атомно-силовой микроскопии
Физика Бакалавриат Специалитет
Характеристики
2014 год • 17 страниц • 766 KB
Издательство Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Тип издания Практикум
Гриф Рекомендовано методической комиссией радиофизического факультета для студентов ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки 011800 «Радиофизика и электроника» 010400 «Информационные технологии» 654700 «Информационная безопасность телекоммуникационных систем»
Описание
В пособии описаны физические принципы работы атомно-силового сканирующего зондового микроскопа. Изложена методика анализа топографии поверхности полупроводниковой структуры с использованием контактного способа измерений. Практикум предназначен для студентов дневного отделения магистратуры радиофизического факультета ННГУ в качестве пособия при подготовке и проведении лабораторных работ по специализированному курсу «Сканирующая зондовая микроскопия».
