Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки
Инженерно-технические науки Бакалавриат Магистратура
Характеристики
2023 год • 216 страниц • 4.7 MB
Издательство Издательство "Лань"
ISBN 978-5-507-45480-8
Тип издания Учебник для вузов
Описание
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
