Вакуумные технологии. Нанесение оптических покрытий в вакууме
Физика Бакалавриат Специалитет
Характеристики
2024 год • 98 страниц • 6.3 MB
Издательство Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
ISBN 978-5-8088-1965-8
Тип издания учеб. Пособие
Описание
Изложен материал о технологиях получения высокого вакуума, приборах для его измерения, методах нанесения покрытий в вакууме. Рассмотрены концепции кинетической теории газов, гидродинамики, дегазации и скорости откачки, а также понятия ионного и радиочастотного испарений. Написано в соответствии с государственным образовательным стандартом для высшего профессионального образования. Может быть использовано при проведении аудиторных лекционных занятий среди студентов технических вузов.
