Вакуумные системы источников синхротронного излучения

Описание

Рассмотрены основные требования к вакуумным системам современных источников синхротронного излучения (СИ), особенности их проектирования и расчета. Основной акцент сделан на определяющую роль поверхности в сверхвысоковакуумных установках. Рассмотрены современные подходы к использованию компактных комбинированных насосов, распределенных насосов на основе геттерных материалов и покрытий в реализации эффективной откачки остаточных газов в протяженных вакуумных системах. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования. Работа подготовлена в рамках мероприятий по выполнению Соглашения № 075-15-2021-1359/1 на реализацию отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019–2027 гг.