Вакуумные и плазменные приборы и устройства
Инженерно-технические науки Бакалавриат
Характеристики
2018 год • 141 страниц • 2 MB
Издательство Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Тип издания учебное пособие для студентов направления подготовки 11.03.04 - «Электроника и наноэлектроника»
Описание
Задачей дисциплины «Вакуумные и плазменные приборы и устройства» является ознакомление студентов с физическими процессами, сопровождающими протекание электрического тока в вакууме, изучение закономерностей, характеризующих эти процессы, и формирование у студентов умения применять эти закономерности на практике. В курсе рассмотрены вопросы формирования и транспортировки электронных пучков, методы генерации и диагностики плазмы, а также применение ионно-плазменных устройств в технологических процессах Пособие предназначено для студентов очной формы обучения, обучающихся по направлению 11.03.04 - «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Вакуумные и плазменные приборы и устройства».
