Установка для эпитаксии кремниевых и германиевых слоёв: Практикум
Инженерно-технические науки Бакалавриат
Характеристики
2024 год • 24 страниц • 1.5 MB
Издательство Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Гриф Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки: 11.03.04 – «Электроника и наноэлектроника» 28.03.01 – «Нанотехнологии и микросистемная техника»
Описание
Практикум предназначен для формирования у учащихся практических навыков работы с вакуумной техникой и установками молекулярно-лучевой эпитаксии. Необходимо для студентов третьего и четвертого курсов физического факультета, выполняющих лабораторные работы на кафедре физики полупроводников, электроники и наноэлектроники по курсам «Основы технологии материалов» и «Материалы и методы нанотехнологии».
