Управление выращиванием материалов из жидкого расплава
Описание
Систематизированы сведения о способах контроля и управления выращиванием материалов из жидкого расплава способом Чохральского, изложены принципы создания микропроцессорных систем управления выращиванием кристаллов на основе контактного метода измерения текущей площади выращиваемого кристалла. На основе физических представлений о процессе выращивания разработан математический аппарат вычисления сигнала управления как разности текущей и заданной площади выращиваемого материала, разработан математический аппарат задания температуры выращивания и скорости вытягивания материала исходя из его геометрии и теплофизических параметров. Предназначена для инженеров и научных работников, специализирующихся в области технологии и оборудования по выращиванию из жидкого расплава таких материалов, как германий, кремний, арсенид галлия, алюминий, медь и др.
