Технология тонких пленок: практикум

Описание

Практикум подготовлен кандидатами технических наук, доцентами Д. М. Никулиным и доцентом М. П. Егоренко на кафедре фотоники и приборостроения СГУГиТ. Предназначен для обучающихся при выполнении практических работ по получению тонких пленок, а также их контролю и измерению толщины. Содержит методические рекомендации по выполнению практических работ, общие теоретические сведения, порядок выполнения работы, а также предусматривает перечень контрольных вопросов для проверки знаний изученного материала. Практикум по дисциплине «Технология тонких пленок» предназначен для обучающихся по направлениям подготовки 12.03.01 Приборостроение и 12.03.02 Оптотехника (уровень бакалавриата). Рекомендован к изданию кафедрой фотоники и приборостроения, Ученым советом Института оптики и технологий информационной безопасности СГУГиТ.