Технология тонких пленок
Физика Бакалавриат Магистратура Специалитет
Характеристики
2008 год • 104 страниц • 1.5 MB
Издательство Национальный исследовательский ядерный университет «Московский инженерно-физический институт»
ISBN 978-5-7262-1036-0
Тип издания учебное пособие для вузов
Гриф Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений
Описание
Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем.
