Технология материалов и изделий электронной техники (часть 2)
Описание
В учебном пособии ч. 2 рассмотрены основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники. Кроме того, рассмотрены основы автоматизации процессов производства электронных приборов и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. Большинство разделов содержит математические модели для инженерных расчетов. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Технология материалов и изделий», «Вакуумная и плазменная электроника», «Оптическое материаловедение». Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технология приборов оптической электроники и фотоники», «Специальные вопросы технологии», а также при выполнении курсовых и дипломных работ.
