Технология изделий микроэлектроники
Инженерно-технические науки Бакалавриат
Характеристики
2023 год • 160 страниц • 3.6 MB
Издательство Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина
ISBN 978-5-7722-0389-7
Тип издания учебное пособие
Гриф Рекомендовано научно-методическим советом ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений направлений подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» И 11.03.01 «Радиотехника» (уровень – бакалавриат)
Описание
Представлена информация об основных технологических операциях изготовления интегральных микросхем: выращивании и легировании полупроводниковых монокристаллов, изготовлении полупроводниковых пластин, эпитаксиальном выращивании пленок, формировании диэлектрических и проводящих пленок, литографических методах, технологиях создания структур на биполярных и полевых транзисторах. Предназначено для аудиторной и самостоятельной работы студентов дневного отделения направлений 11.03.04, изучающих дисциплину «Технология изделий микро- и наноэлектроники», и 11.03.01, изучающих дисциплину «Техника и технологии полупроводников».
