Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники
Инженерно-технические науки Аспирантура Бакалавриат Магистратура
Характеристики
2023 год • 267 страниц • 7.7 MB
Издательство Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева
ISBN 978-5-502-01726-8
Тип издания учебное пособие
Описание
Рассматриваются основные принципы и понятия микроэлектроники, классификация микросхем по функциональным и конструкторско-технологическим признакам, активные и пассивные элементы интегральных микросхем. Даны общие сведения о технологии производства полупроводниковых микросхем, их классификация и описаны основные технологические операции, начиная с получения материалов. Описаны режимы работы и особенности применения оборудования. Подробно изложены физические принципы, на которых основаны современные технологии получения тонкопленочных компонентов интегральных схем. Предназначено для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» всех форм обучения, а также для преподавателей и аспирантов.
