Технологические среды
Инженерно-технические науки Бакалавриат
Характеристики
2018 год • 72 страниц • 807.4 KB
Издательство Белорусский национальный технический университет
ISBN 978-985-583-049-9
Тип издания пособие для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники»
Описание
Пособие содержит теоретические сведения и инструкции, необходимые для выполнения расчетно-практических работ по курсу «Технологические среды»; расчетнопрактические работы, посвященные основным технологическим средам для производства интегральных микросхем и материалов для них; теоретические сведения о вакууме, способах его получения и оборудовании для этого; информацию о способах очистки воздуха при производстве полупроводниковых приборов. Предназначено для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники».
