Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем
Инженерно-технические науки Бакалавриат Специалитет
Характеристики
2016 год • 123 страниц • 1.4 MB
Издательство Балтийский государственный технический университет «Военмех» имени Д.Ф. Устинова
ISBN 978-5-85546-944-8
Тип издания учебное пособие
Описание
Приведены базовые техпроцессы изготовления элементов полупроводниковых интегральных схем. Рассмотрен контроль качества кристаллов ИС. Предназначено для студентов дневной формы обучения по специальностям 200100 "Приборостроение", 221700 "Стандартизация и метрология", 210400 и 210601 "Радиоэлектронные системы", а также для студентов вечернего факультета при курсовом и дипломном проектировании
