Технологические основы изготовления интегральных микросхем

Описание

В работе собраны основные первоначальные сведения по тем технологическим материалам и процессам, используемым при создании интегральных микросхем и дискретных электронных приборов. Для досконального знакомства с отдельными операциями студентам необходимо самостоятельно познакомиться с литературными источниками, некоторые из которых упомянуты в списке, приведенном в конце пособия. Предназначено для студентов очной и заочной форм обучения по направлениям подготовки бакалавриата 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Промышленная электроника»), 27.03.04 «Управление в технических системах» (профиль «Электронные системы и технические средства автоматизации и управления»), изучающих дисциплину «Физические основы электроники, ч. 2» («Электроника»).