Технологические и защитные среды в технохимических процессах обработки кремниевых пластин

Описание

Представлены технохимические процессы, участвующие в производстве интегральных микросхем и изделий микросистемной техники. Рассмотрены различные типы загрязнений, механизмы их образования и способы устранения. Особое внимание уделено выбору метода химической обработки, физическому механизму очистки поверхности и методам жидкостной и сухой химической обработки, технологическим и защитным средам. Для студентов направления подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств» профиля «Изделия микросистемной техники»; направления подготовки 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств» профиля «Технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники и микросистемной техники». Может быть полезно студентам и инженерам-технологам, работающим в области электронной техники.