Специальные вопросы технологии приборов квантовой электроники
Описание
В пособии рассматриваются: физические принципы формирования приборов квантовой электроники и наноэлектроники; основные приемы построения последовательностей технологических операций при формировании и синтезе оптических материалов; современные технологии, применяемые при производстве приборов квантовой электроники и наноэлектроники; принципиальные схемы последовательностей технологических операций; оптимальные режимы проведения технологических операций; анализ достоинств и недостатков известных технологий формирования оптических материалов на элементах квантовой электроники и наноэлектроники. Приведены основы конструирования и сервисного обслуживания вакуумных систем. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Специальные вопросы технологии приборов квантовой электроники».
