Сканирующая зондовая литография: Описание лабораторной работы
Описание
Данная лабораторная работа является работой базового уровня из курса работ, проводящихся на сканирующем зондовом микроскопе Ntegra Academia в Центре научных исследований и проектной деятельности Специализированного учебного научного центра ННГУ. Выполняется после проведения лабораторной работы начального уровня «Получение первого изображения на сканирующем зондовом микроскопе Ntegra Academia. Обработка и представление результатов эксперимента». Описание лабораторной работы представляет собой изложение физических основ сканирующей зондовой литографии, как средства модификации поверхности твердых тел в нанометровых масштабах, являющейся одним из направлений нанотехнологии. Приводится подробное описание различных видов литографии, выполняемых с помощью сканирующего зондового микроскопа. Представлено описание методики растровой динамической силовой литографии для прибора Ntegra Academia. Описание лабораторной работы предназначено для учащихся 10-11 классов СУНЦ ННГУ при выполнении курса внеурочной деятельности «Проектные научные исследования в области современной нанофизики и физической химии».
