Процессы микро- и нанотехнологий
Нанотехнологии Бакалавриат
Характеристики
2012 год • 50 страниц • 1.8 MB
Издательство Башкирский государственный педагогический университет им.М. Акмуллы
Тип издания метод. пособие к курсу лекций
Описание
Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной дисциплины направлено на ознакомление с кругом актуальных задач современной электроники. В издании рассматриваются основные методы формирования топологии элементов микроэлектроники и нанесения металлических контактов
