Приборно-технологическое моделирование устройств микро-и наноэлектроники. Математические модели и программные средства
Инженерно-технические науки Бакалавриат Магистратура
Характеристики
2020 год • 68 страниц • 4.4 MB
Издательство Сибирский Федеральный Университет
ISBN 978-5-7638-4263-0
Описание
Рассмотрены математические модели, которые описывают приборные полупроводниковые структуры, технологические процессы их создания и программные средства, обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 «Электроника и наноэлектроника». Может быть рекомендовано студентам всех специальностей и направлений укрупненной группы 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи»
