Плазменные покрытия (свойства и применение)
Физика Бакалавриат Магистратура Специалитет
Характеристики
2008 год • 136 страниц • 1.6 MB
Издательство Томский политехнический университет
Тип издания Учебное пособие
Гриф Рекомендовано в качестве учебного пособия Редакционно-издательским советом Томского политехнического университета
Описание
В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.
