Плазменное оборудование для нанотехнологий
Нанотехнологии Магистратура
Характеристики
2022 год • 96 страниц • 17.3 MB
Издательство Казанский национальный исследовательский технологический университет
ISBN 978-5-7882-3285-0
Тип издания учебное пособие
Описание
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высоко- молекулярных материалов.
