Плазменная электроника
Инженерно-технические науки Бакалавриат
Характеристики
2021 год • 150 страниц • 6.2 MB
Издательство Иркутский национальный исследовательский технический университет
Тип издания учеб. пособие
Описание
Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены общие вопросы физики плазмы и газовых разрядов, методы диагностики плазмы, плазменные источники ионов, газоразрядные источники ионов и плазменные лазеры. Предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника».
