Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами

Описание

Представлены результаты исследований в области получения нано-структурированных пленок ионно-плазменными методами. Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным распылением. Изучено влияние технологических и тепловых параметров на структуру, фазовый состав и свойства пленок ZrN. Предназначено для студентов и аспирантов, преподавателей, исследователей в области технологии получения износостойких покрытий.