Основы вакуумных технологий
Описание
В пособии рассматриваются: физические принципы формирования приборов электроники и наноэлектроники на основе вакуумных технологий; основные приемы построения последовательностей технологических операций при формировании и синтезе оптических материалов в вакууме; современные вакуумные технологии, применяемые при производстве приборов электроники и наноэлектроники; принципиальные схемы последовательностей технологических операций; оптимальные режимы проведения технологических операций в вакуумных устройствах; анализ достоинств и недостатков известных вакуумных технологий формирования оптических материалов на элементах электроники и наноэлектроники. Приведены основы конструирования и сервисного обслуживания современных вакуумных систем. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Основы вакуумных технологий»
