Основы технологии электронной компонентной базы
Инженерно-технические науки Бакалавриат Магистратура Специалитет
Характеристики
2022 год • 268 страниц • 4.9 MB
Издательство Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
ISBN 978-5-7256-0991-2
Тип издания учеб. пособие
Описание
Рассмотрены основные технологические операции создания активных элементов кремниевых ИС, химическая и плазмохимическая обработка кремния, введение примесей в кремний, методы формирования диэлектрических слоев, литография, создание контактов и металлических соединений. Для студентов (бакалавров, специалистов, магистров), изучающих основы технологии изготовления ИС.
