Напыление тонких пленок испарением в вакууме
Инженерно-технические науки Бакалавриат
Характеристики
2020 год • 30 страниц • 1.2 MB
Издательство Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Тип издания Практикум
Гриф Рекомендовано методической комиссией физического факультета для бакалавров, обучающихся по следующим направлениям подготовки: 210100 – «Электроника и наноэлектроника», 222900 – «Нанотехнологии и микросистемная техника»
Описание
Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, физические аспекты процессов испарения веществ в вакууме, даны указания к выполнению лабораторного практикума. Практикум предназначен для бакалавров физического факультета ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки: 210100 – «Электроника и наноэлектроника», 222900 – «Нанотехнологии и микросистемная техника».
