Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения

Описание

Микромеханика – отрасль современной науки и техники, в основе которой лежат технологии объемной и поверхностной обработки кремниевых пластин, применяемые в микроэлектронике. С помощью этих технологий можно изготавливать устройства с микро-размерными подвижными элементами. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой устройства, управляемые внешним воздействием (электростатическим, электромагнитным, пьезоэлектрическим и т. д.), которые могут выполнять функции измерения и контроля параметров природных и техногенных объектов, а также решать задачи управления потоками излучения. Монография обобщает многолетний опыт прикладных работ в области микромеханики, выполненных в соавторстве и отдельно друг от друга и опубликованных в материалах научно-технических конференций и периодических изданиях. Значительная часть оригинальных результатов, представленных в монографии, получены в соавторстве с коллективом УНЛ ФОПМ СГУГиТ и под руководством д. т. н., профессора В. В. Чеснокова. Монография может быть полезной для магистрантов, аспирантов и научных работников, занимающихся разработкой и проектированием МЭМС