Микроэлектромеханические системы
Описание
Приведены примеры использования в радиотехнических устройствах микроэлектромеханических систем (МЭМС) различного вида: коммутаторов, актюаторов, датчиков физических величин, гироскопов, акселерометров и других. Представлена классификация датчиков инерции: акселерометров, гироскопов. Приведены принципы работы и характеристики различных типов микроактюаторов и датчиков давления, а также технические характеристики МЭМС-генераторов компаний SiTime, Vectron Intema-tional, Discera. Рассмотрены принципы работы и параметры МЭМС-резонаторов. Изложены особенности построения резонаторов и генераторов на основе МЭМС. Осуществлен расчет собственных мод колебаний МЭМС-резонатора в программе ANS YS. Издание предназначено для студентов радиотехнических специальностей.
