Микродатчики и микросистемы. Краткий курс лекций

Описание

Пособие посвящено изучению конструкций и принципов работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. В пособии даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике, приведена краткая история развития микросистем, приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему, как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета ANSYS. Пособие предназначено для самостоятельного изучения студентами теоретического материала, необходимого для освоения курса «Микродатчики». Структура его включает в себя восемнадцать лекций, первая из которых посвящена общим вопросам, касающимся микросистем, вторая рассматривает некоторые вопросы проектирования микросистем, а остальные лекции дают краткое описание отдельных классов микросистем. В пособии минимизировано использование математических формул, а изложение физических основ работы микросистем дается максимально простым и понятным языком. Основной акцент в пособии поставлен на представление идеи работы рассматриваемого устройства. По этой причине пособие также рекомендуется в качестве книги для чтения студентам специальности 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».