Методы электронной микроскопии
Инженерно-технические науки Бакалавриат
Характеристики
2016 год • 61 страниц • 7.5 MB
Издательство Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики
Тип издания Учебное пособие
Описание
Учебное пособие «Методы электронной микроскопии» содержит подробное описание физических основ и экспериментальных методов электронной микроскопии определения физических и структурных свойств материалов. Рассматриваются вопросы применения данных методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», профиль «Интегральная электроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы диагностики и анализа микро и наноструктур».