Методы диагностики и анализа микро- и наносистем. Часть 1. Электронная микроскопия и спектроскопия

Описание

Учебное пособие представляет собой изложение физических принципов, лежащих в основе методик электронной микроскопии и спектроскопии, области их применения, а также краткий обзор конструкций и функциональных параметров современных устройств. Пособие предназначено для студентов и аспирантов, обучающихся по специальностям 11.03.04 (11.04.04) «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 (28.04.01) «Нанотехнологии и микросистемная техника» и смежных с ними, а также для широкого круга читателей, желающих получить общие представления в области современных методик диагностики наноматериалов. Учебное пособие соответствует рабочим программам дисциплин «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», «Техника эксперимента» и др.