МЭМС: инерциальные системы, микроактюаторы, датчики
Инженерно-технические науки Бакалавриат
Характеристики
2015 год • 77 страниц • 3.5 MB
Издательство Омский государственный технический университет
ISBN 978-5-8149-2015-7
Тип издания учебное пособие
Описание
Рассмотрено современное состояние микроэлектромеханических систем (МЭМС). Представлена классификация датчиков инерции: акселерометров, гироскопов. Приведены принципы работы и характеристики различных типов микроактюаторов и датчиков давления. Предназначено для студентов радиотехнических специальностей.
