Кремний на Сапфире. Методы получения. Структура. Свойства
Инженерно-технические науки Бакалавриат
Характеристики
2017 год • 42 страниц • 1.5 MB
Издательство Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского
Тип издания Учебно-методическое пособие
Гриф Рекомендовано методической комиссией физического факультета ННГУ для студентов физического факультета, обучающихся по направлениям подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника (профили): твердотельная электроника и наноэлектроника; 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника Направленности (профили): материалы микро- и наносистемной техники
Описание
Технология кремний на сапфире (КНС) является основой для производства радиационно-стойких приборов. В пособии описаны основные особенности данных структур, а также представлены основные технологии их производства. Данное пособие предназначено для студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям 11.03.04 Электроника и наноэлектроника и 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника.
