Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Инженерно-технические науки Бакалавриат Магистратура
Характеристики
2023 год • 220 страниц • 18.3 MB
Издательство Издательство "Лань"
ISBN 978-5-507-46956-7
Издание 3-е изд., стер.
Тип издания Учебное пособие для вузов
Описание
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
