Керамические подложки с нанесенным медным покрытием
Описание
Представлены результаты исследования по получению корундовых и алюмонитридных керамических подложек с нанесенными медными покрытиями. Рассмотрены физико-химические процессы получения подложек из корундовой и алюмонитридной керамики. Применение высококачественных исходных порошков (глинозема и нитрид алюминия) с повышеннгй чистотой и дисперсностью способствует получению керамических материалов с высоким уровнем свойств. Изложены технологии нанесения медных покрытий на подложки, включающие молибдено-марганцевую металлизацию, термомеханическое нагружение, прямое соединения медной фольги с подложкой (DВС-технология).