Изучение функциональных свойств многослойных пленок на основе двух- и трехкомпонентных нитридов тугоплавких металлов и их соединений с легкоплавкими металлами и неметаллами

Описание

Представлено современное решение проблемы изучения физико-механических, антифрикционных, адгезионных, коррозионных, износо-, трещино- и теплостойких свойств ионно-плазменных многослойных пленок на основе двух и трехкомпонентных нитридов тугоплавких металлов и их соединений с легкоплавкими металлами и неметаллами в зависимости от строения, внутренних напряжений, фазового и элементного состава слоев. Приведены примеры исследования и испытания многослойных пленок на основе двух- и трехкомпонентных нитридов тугоплавких металлов и их соединений с легкоплавкими металлами и неметаллами и технологии их получения. Предназначено для бакалавров, магистров, аспирантов и ученых, обучающихся и работающих в области технологии получения многофункциональных поликристаллических одно- и многослойных пленок.