Физические основы вакуумной техники
Инженерно-технические наукиБакалавриат
Характеристики
2024 год•92 страниц•1.7 MB
ИздательствоРязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина
Тип изданияучебное пособие
ГрифРекомендовано научно-методическим советом ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки: 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств» (уровень - бакалавриат); 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (уровень - бакалавриат)
Описание
Рассмотрены основные моменты молекулярно-кинетической теории газов и их свойства в зависимости от степени вакуума. Описаны физические принципы работы насосов для получения низкого, среднего и высокого вакуума. Приведены основные сведения о техническом устройстве современных вакуумных насосов. Рассмотрены физические принципы работы современных вакуумметрических датчиков. Приведено описание четырех лабораторных работ, включая порядок выполнения и контрольные вопросы. Предназначено для студентов очной формы обучения направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств».
