Физические методы исследования поверхности основы
Описание
Рассмотрены основные теоретические и практические вопросы исследования поверхности материалов. Описаны методы профилометрии, сканирующей электронной микроскопии, оптической и туннельной микроскопии. Представлены основные физические понятия, рассмотрены принципы работы приборов и устройств, приведены примеры и результаты использования методов исследования поверхности. Пособие предназначено для студентов бакалавриата и магистратуры направлений 03.03.03, 03.04.03 Радиофизика профиль «Физика и технология радиоэлектронных приборов и устройств», 03.03.02, 03.04.02 Физика профиль «Физика конденсированного состояния вещества», а также для аспирантов, специализирующихся в области физики конденсированного состояния вещества.