Энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия

Описание

Данное пособие предназначается для студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям «210100 – электроника и наноэлектроника» и «222900 – нанотехнологии и микросистемная техника», а также для аспирантов обучающихся по специальности «01.04.07 – физика конденсированного состояния». Оно будет частью практических занятий по дисциплине «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», в рамках которой студентами старших курсов изучаются различные микроскопические и аналитические методы анализа наноструктур. В том числе и метод энергодисперсионной рентгеновской спектрометрии. Практическая часть работы будет осуществляться на просвечивающем электронном микроскопе JEM-2100F (JEOL, Япония) с помощью энергодисперсионного спектрометра на основе безазотного детектора Х-Мах компании Oxford instruments, смонтированного на просвечивающем электронном микроскопе JEM-2100F. Поскольку просвечивающий электронный микроскоп и ЭДС детектор требует высокой квалификации, студентам необходимо будет ознакомиться с основами его устройства данного оборудования и разобраться в физике процессов, протекающих во время эксперимента, чтобы иметь возможность грамотно объяснить полученные результаты.