Электроны и ионы в электронике

Описание

Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым пособием для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нанообъектов и материалов. Рассмотрены вопросы генерации электронных пучков, методы и устройства создания глубокого вакуума и измерения степени разряжения, принципы действия электровакуумных и газоразрядных электронных ламп, микроэлектроники, методы и устройства ускорения ионов. Предназначено для студентов электротехнических специальностей, изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника».