Диэлектрические пленки для ИС

Описание

В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования технологии изготовления и применения ИС.