Безопасность при работах по нанесению тонких пленок

Описание

Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенерации отработанных растворов в цехах химической и электрохимической металлизации и охраны труда при производстве этих работ, а также перспективные методы получения полимерных и оксидных пленок. Показана возможность получения функциональных материалов и устройств с использованием безопасных растворных методов. Для магистрантов, аспирантов, преподавателей, научных работников и специалистов в области техносферной безопасности, приборостроения, твердотельной электроники.