Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур
Стриханов М.Н. , Сафаралиев Г.К. , Кузнецов Г.Д. , Харламов Н.А. , Каргин Н.И.
Инженерно-технические науки Бакалавриат
2018 • 148 стр. • 8.6 MB
5 0
